加热型旋转涂覆仪技术参数：
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| 项目 | 明细 |
| 旋涂仪 | 供电电压 | AC220V，50Hz |
| 转速 | 0~10000rpm | |
| 加速度 | 100~5000rpm/s | |
| 转速分辨率 | 1rpm | |
| 单步时间 | 3000s | |
| 基片尺寸 | 直径≤8英寸（200mm） | |
| 腔体材质 | 铝合金 | |
| 加热温度 | ≤200℃ | |
| 控温方式 | AIP智能控温 | |
| 操作方式 | 7寸高清LCD触控屏 | |
| 滴胶方式 | 手动滴胶，可选购精密注射泵 | |
| 匀胶曲线 | 每条曲线5段，共可储存5条曲线 | |
| 抽气接口 | φ6mm 快拧接口 | |
| 整机尺寸 | 290mm×365mm×300mm | |
| 整机重量 | 12kg | |
| 排气系统 | 真空泵 | 干式机械泵 |
| 抽气速率 | 50L/min | |
| 供电电源 | AC220V 50/60Hz |
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