PECVD技术参数：
| 供电电源 | AC220V 50Hz (欧标) | |
| 射频电源 | 信号频率 | 13.56MHz |
| 功率输出范围 | 0~500W | |
| *大反射功率 | 100W | |
| 反射功率 (在*大功率时) | <5W | |
| 功率稳定性 | ±0.1% | |
| 工作腔体 | 加热温度 | RT-1000℃ |
| 温控精度 | ±1℃ | |
| 样品台尺寸 | Φ200mm | |
| 样品台转速 | 1-20rpm 可调 | |
| 喷头尺寸 | Φ90mm | |
| 距离 | 喷头与样品之间的距离40-100mm连续可调 | |
| 沉积工作真空 | 0. 133- 133Pa （可根据工艺调整） | |
| 法兰 | 上法兰可由电机升降，基材易更换，并有可视窗口 | |
| 腔体 | 不锈钢材质, Φ500mm * 500mm | |
| 观察窗 | Φ100mm, 带挡板 | |
| 供气系统 | 通道数 | 6 |
| 测量单位 | 质量流量计 | |
| 测量范围 | A 通道: 0～200SCCM for H2 | |
| B 通道: 0～200SCCM for CH4 | ||
| C 通道: 0～200SCCM for C2H4 | ||
| D通道: 0～500SCCM for N2 | ||
| E通道: 0～500SCCM for NH3 | ||
| F通道: 0～500SCCM for Ar | ||
| 测量精度 | ±1.5%F.S | |
| 工作压差 | -0.15Mpa~0.15Mpa | |
| 连接管材质 | 304 不锈钢 | |
| 气路 | 304 不锈钢针阀 | |
| 进气和出气接口规格 | 1/4" 卡套接头 | |
| 真空系统 | 前级泵抽速 | 4.7L/s |
| 分子泵抽速 | 1200L/s | |
| 真空测量 | 复合真空计, 范围10-5Pa ~ 105Pa | |
| 真空度 | 5.0*10-3Pa | |
| 水冷机 | 冷却水温度 | ≦37℃ |
| 水流速 | 10L/min | |
| 功率 | 0.1KW | |
| 冷却功率 | 50W/℃ | |
| 空压机 | OTS-550 | |
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