4电弧提拉法单晶生长炉

CY-AR3000BG-T 4电弧提拉法单晶生长炉

腔体

1、采用304不锈钢腔体，带有水冷夹层，可通入冷却水

2、腔体上安装有石英窗口，以便观察样品

3、腔体真空度：10-5Torr（采用分子泵）

4、腔体尺寸：Φ257*360mm

真空计

1、腔体上安装有数显防腐真空计和机械压力表

电弧枪

1、共有4个电弧枪，可让样品得到均匀的温场（电弧枪都带有冷却水）

2、钨电极直径为Φ4mm

3、电弧腔体对样品的角度和距离可手动调节

4、起弧电源： 18 V / 185 A    电压380V

5、熔炼温度可达3000℃

样品台

1、采用水冷铜坩埚

2、可投入样品量为60g(按铁计算)

提拉机构

1、控制器控制提拉机构的提拉速度，转速和转速

2、提拉速度：0.2-10mm/h

3、提拉行程：0-70mm

4、转速：0-40RPM

控制单元

1、可显示和设置单晶生长的参数（起弧电流，提拉杆转速，提拉行程和转速）

真空泵

1、设备中配有一分子泵系统（机械泵+涡旋分子泵）

2、抽气速率：100L/S

3、可使设备腔体的真空度达到10-5Torr(40分钟内)

循环水冷机

1、功率：800W

2、水流速度：58L/min

3、制冷能力：5004W（17500Btu/hour）

4、温度控制：5~30°C

设备尺寸：800mm（L）*800mm（W）*1500mm(H)