本产品为手套箱专用型小型蒸发镀膜仪，可提供*大100A的镀膜电流，*大蒸发温度可达1700℃，能够满足常见金属及部分非金属的蒸镀。真空腔体采用高纯石英制作，具有便于观察镀膜过程，易于清洗的优点；配合分子泵组可达到5x10-4Pa极限真空，能够有效保证蒸镀薄膜的纯净度和结合力。仪器体积小巧，经过小型化设计，可有效节约实验室空间，专为手套箱内使用设计；操作简单，对不同材料的适应性强，十分适合实验室选购。
手套箱专用型小型蒸发镀膜仪技术参数：
| 产品名称 | 手套箱用小型蒸发镀膜仪 | |
| 产品型号 | CY-EVZ180-I-H-Q | |
| 样品台 | 外形尺寸 | 直径φ60mm |
| 转速 | ≦20rpm | |
| 至蒸发源间距 | 20～55mm 连续可调 | |
| 热蒸发源 | 有机蒸发源（石英舟和钨丝发热源） | |
| 蒸发电源 | 每个蒸发源配一组独立电源 | |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | 直径φ180mm，高度100mm |
| 观察窗口 | 直径φ60mm | |
| 腔体材质 | 高纯石英 | |
| 开启方式 | 上开启式 | |
| 膜厚测量 | 晶体膜厚测量仪（也可选膜厚控制仪） | |
| 真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵，气体抽速1.1L/S |
| 次级泵 | 涡轮分子泵,气体抽速600L/S | |
| 真空测量 | 复合真空计(电离规+电阻规) | |
| 系统真空 | 5×10-4Pa | |
| 控制系统 | CYKY自研专业级控制器 | |
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其他参数 | 供电电源 | AC220V,50Hz |
| 整机尺寸 | 600mm×600mm×750mm | |
| 整机功率 | 1200W | |
| 整机重量 | 40kg | |
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