迷你石墨烯CVD设备
本套CVD系统专为石墨烯生产设计，采用1200℃迷你管式炉，配有高精度质量流量计以及薄膜真空规。相比于常规的皮拉尼电阻规，薄膜规的读数**，不受气体种类影响，十分适合真空镀膜工艺。同时设备配有可燃气体检测装置，联动出气口电磁阀，一旦出现泄漏电磁阀即可自行关闭保证**。
该套设备功能**占地面积较小，十分适合实验室规模的CVD制备。
特点
1.高精度质量流量计以及薄膜真空规。
2.可燃气体检测装置，联动出气口电磁阀。
3.体积小巧
4.专为石墨烯生产设计
技术参数：
| 1200℃迷你管式炉 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
| 功率 | 2KW max | |
| 加热温区 | 单温区200mm | |
| 恒温区长 | 100mm | |
| 加热元件 | 耐热合金丝 | |
| 热电偶 | K型 | |
| 工作温度 | ≤1150℃ | |
| 升温速率 | 建议≤10℃/min | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 控温方式 | AI-PID 30段工艺曲线，带有过热和断偶保护 | |
| 炉管材质 | 高纯石英 | |
| 炉管尺寸 | φ50mm O.D x 450mm L | |
| 真空泵 | 机械泵 抽速1.1L/s | |
| 极限真空 | 5Pa |
| 三路浮子流量计 | 阀门类型 | 不锈钢针阀 |
| 气路数量 | 三路 | |
| 承压范围 | 0.05~0.3MPa | |
| 量程 | Ar 0~500sccm H2 0~200sccm CH4 0~10sccm | |
| 流量控制范围 | ±1.5% | |
| 混气罐容积 | 750mL | |
| 气路材料 | 304不锈钢 | |
| 管道接口 | 6.35mm卡套接头 | |
| 供电电源 | AC220V 50Hz |
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