高真空电子束蒸发镀膜仪

产品名称

高真空电子束蒸发镀膜仪

产品型号

CY-EBH500-SS

样品台

外形尺寸

<150mm，样品台可旋转

可调温度

≦500℃

电子枪

新型电子枪，6孔坩埚

加热灯

4只卤素加热灯用于除气，1个氖灯用于照明

真空腔体

腔体尺寸

Φ500*H500mm

观察窗口

直径φ100mm

腔体材质

304不锈钢

开启方式

前开门式

膜厚测量

采用SQM160膜厚仪进行监控，涂层厚度不均匀度小于6%。

真空系统

前级泵

双极旋片泵，气体抽速1.1L/S

次级泵

涡轮分子泵,气体抽速600L/S

真空测量

复合真空计(电离规+电阻规)

系统真空

5×10-5Pa

水冷系统

水压<2.5bar 水压监测

加热灯

4只卤素加热灯用于除气，1个氖灯用于照明

电极接口

带2路金属蒸发电极接口

控制系统

CYKY自研专业级控制器

其他参数

供电电源

AC380V,50Hz

整机尺寸

1000mm×800mm×1500mm

整机功率

20KW

整机重量

350kg