本设备为三源高真空蒸发镀膜仪，设备采用前开门式真空腔体设计，腔体空间大，可拓展性强，能够满足多样式大尺寸样品的蒸发镀膜。腔体内配有上置样品台，可根据用户样品样式选取夹持或卡位式样品安装部件。样品台可旋转、加热，所有操作均通过触控屏集成控制。设备的真空泵组为两级式真空系统，由双极旋片真空泵和涡轮分子泵组成，可为真空镀膜试验提供清洁无油的高真空的环境；真空系统内含有的气动阀系统，用户可通过触控屏进行一键式操作实现抽取真空、不停机取放样、停机等操作。
详情介绍：
本设备的蒸发源共三组，采取钨舟蒸发源，水冷式铜电极，可*大支持260A的大电流，加热温度*高可达1800℃，可实现多种难熔金属的蒸镀，三组独立热蒸发源，不会导致镀材互相污染。本设备采用一体化设计，腔体和电控部分左右分置，实现了水电分离，有力的保证了用户的**。电控部分采用触控屏和按钮面板相结合的设计，真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作，通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作，在尽可能方便用户的同时规避了误操作的可能。该设备设计性能，是实验室高精度蒸发镀膜试验的之选。
三源高真空蒸发镀膜仪应用领域：金属和介电膜 ，薄膜传感器的制造 ，光学元件 ，纳米与微电子 ，太阳能电池等。
技术参数：
| 产品名称 | 三源高真空蒸发镀膜仪 | |
| 产品型号 | CY-EVH500-III-HHH-SS | |
| 样品台 | 尺寸 | *大支持φ150mm样品 |
| 功能 | 可旋转，*高加热500℃ | |
| 蒸发源 | 数量 | 钨舟x3 |
| 电源 | 每个蒸发源配一组独立电源；三个蒸发源共三组独立电源 | |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | φ300x400mm |
| 观察窗口 | 前置φ100mm | |
| 腔体材料 | 304不锈钢 | |
| 开启方式 | 前开门式 | |
| 膜厚控制（选配） | 晶振式膜厚测量仪，可选多通道膜厚控制仪 | |
| 真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵 |
| 抽气接口 | KF16 | |
| 次级泵 | 涡轮分子泵 | |
| 抽气接口 | CF160 | |
| 真空测量 | 电阻+电离 复合真空规 | |
| 排气速率 | 机械泵1.1L/s 分子泵 600L/s | |
| 极限真空 | 1.0E-5Pa | |
| 供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
| 抽气速率 | 旋片泵：1.1L/S | |
| 控制系统 | PLC自动控制 操作界面：触控屏+操作面板 （触摸屏可控制沉积过程和快速数据输入；用户友好 PLC 软件系统，可以通过网络更新） | |
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其他 | 供电电压 | AC380V,50Hz |
| 整机尺寸 | 1000mm X 800mm X 1500mm | |
| 整机功率 | 5kW | |
| 整机重量 | 350kg | |
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