派瑞林真空气相沉积

设备名称

派瑞林真空气相沉积设备

产品型号

CY-VPC-300

工作环境

电源：380V    五线 4 平方以上电缆，*大功率 l0KW

环境温度：0-40℃

环境湿度：＜90%

尺寸

外观尺寸 1580*880*1550mm，占地面积约 1.5 平米， 安装时周围要留有50cm 以上的操作空间

加热部分

升华区

原料仓：φ69*200mm          容量:300g

蒸发温度：室温 200℃

温度偏差:±2℃

裂解区

裂解温度:650-700℃ 温度稳定性: ±2℃

保温区

加热温度＜300℃

控制系统

品牌

PLC 控制系统

程序

为自动沉积系统和手动沉积系统两部分

显示

显示屏尺寸:12 寸触摸彩屏

沉积系统

真空应体

1 个，尺寸φ300xH400  ,  304 不锈钢

腔体容积

28L

观察窗

1 个观察窗口，便于观察产品在沉积室的状态

旋转部分

马达转速可调 1-10 转／分

真空系统

真空泵

真空计

制冷系统

天寒TH-95-15-G(锅式)，制冷温度≤90℃制冷启动后30分钟内可从室温到-70℃

偶联剂蒸发装置

提高派瑞林涂层与需要做涂层基材表面的结合力

设备主要部件

1、蒸发系统： 蒸发舱、电力n热装置、温度传感器

2、裂解系统：裂解舱 、电力日热装置、温度传感器

3、沉积系统：沉积舱 、真空传感器 、样品架

4、真空系统： 真空泵、真空计

5、冷凝系统：锅式冷阱

6、设备主机：设备外壳、控制电路、真空管道

7、石英管：   1根

可沉积原料类型

Parylene C、N、F、D

设备特点

1、气化加热可移动，适合连续生产，如出现突然停电等意外情况可以随时移掉加热，保证产品**．

2、气化部分部分为透明玻璃管，可以随时查看料的情况，并可以保持低温生产，满足高要求镀膜．

3、气化可以移动，是派坷**设置，可以保证无**冲突，生产**。

4、腔体内部转架特殊设计可以有效减少坏点的数量．

5、可视化、人性化界面，操作简单易懂．

6、玻璃管，可以大大降低升温降温时间．

7、保温部分做优化，使得派瑞林不易在玻璃管内壁沉积，可以长期不用保养，减少保养时间