一体式CVD系统设计紧凑，使用方便。特别是丰富的图文界面，即使您是**操作，该系统也能顺利引导您很快掌握该CVD系统的使用和操作，您根本无需专业学习，为您节省大量的科研时间，真正做到事倍功半！
产品特点：
1、丰富的图文信息：全尺寸液晶图文界面
2、系统高度集成：各个部分均由软件协同进行数据采集、交换、处理、输出
3、可使实验步骤程序化、自动化
技术参数： 项目 明细 供电电压 AC220V，50Hz MAX功率 5KW 加热温区 220mm+440mm+220mm 工作温度 1100℃ （1200℃＜1h） 控温精度 ±1℃ 升温速率 建议≤10℃/min 控温方式 AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条 三温区独立控制，带有过热和断偶保护 炉管材质 高纯石英 炉管尺寸 φ60mm O.D×1300mm L 气体通道 三通道质量流量计 气体量程 A：100sccm B：300sccm C：500sccm 系统真空 5~10Pa（如需更高真空度可以选配其他的泵）
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