1200双温区3路质量供气低真空CVD系统同时管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。
系统所配有的三路质量流量计，精度高可靠性强，可以准确混合1~3路气体，操作面板采用数字显示，直观高效。若客户有特殊需要也可联系技术人员定制任意数量的气路。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
| 真 空 管 式 炉 | 产品型号 | CY- O1200-50IIT | |
| 炉管材质 | 高纯石英 | ||
| 炉管直径 | 50mm（可选配60mm、80mm、100mm） | ||
| 炉管长度 | 1000mm | ||
| 炉膛长度 | 440mm | ||
| 加热区长 | 200mm+200mm | ||
| 工作温度 | 0～1100℃ | ||
| 控温精度 | ±1℃ | ||
| 控温模式 | 30段或50段程序控温 | ||
| 显示模式 | LCD | ||
| 密封方式 | 304不锈钢真空法兰 | ||
| 法兰接口 | 1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头 | ||
| 可抽真空 | 4.4E-3Pa | ||
| 供电电源 | AC:220V 50/60Hz | ||
| 供 气 系 统 | 产品型号 | CY-3Z | |
| 气体通道 | 3通道 | ||
| 测量部件 | 气体质量流量计 | ||
| 测量量程 | A通道：0～100SCCM H2气 | 备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。 | |
| B通道：0～300SCCM N2气 | |||
| C通道：0～500SCCM Ar气 | |||
| 测量精度 | ±1.0%F.S | ||
| 管道耐压 | 3MPa | ||
| 工作压差 | 50～300KPa | ||
| 连接管道 | 304不锈钢 | ||
| 控制阀门 | 304不锈钢针阀 | ||
| 接口规格 | 进气口和出气口为1/4英寸卡套接头 | ||
| 供电电源 | AC:220V 50/60Hz | ||
| 排 气 系 统 | 机械泵 | 旋片泵 | |
| 抽气速率 | 1.1L/S | ||
| 排气接口 | KF16 | ||
| 真空测量 | 电阻规 | ||
| 极限真空 | 1.0E-1Pa | ||
| 供电电源 | AC:220V 50/60Hz | ||
| 抽气接口 | KF16 | ||
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