1200℃三温区旋转自动进出料CVD系统安装有投料器和收料罐。1200℃三温区旋转自动进出料CVD系统投料器可以以额定速率将粉料送入炉管，可实现在气氛保护的环境下连续对粉末材料用CVD方法进行包裹和修饰。收料罐可以在气氛保护环境下对处理好的料粉进行收集。
1200℃三温区旋转自动进出料CVD系统广泛用于烧结无机化合物，通过机械传动控制工作管能360°不间断旋转，使得管内物料搅拌混合获得均匀受热效果。
此款管式炉设计主要是在锂离子电池的阴极材料（如LiFePO3, LiMnNiO3）上包覆导电层，同时也可用CVD方式制备 Si/C 阳极材料。
1200℃三温区旋转自动进出料CVD系统技术参数：
真 空 管 式 炉 Max功率 4.5kw 炉管材质 外管不锈钢，内管石英 炉管直径 两端60mm，中间100mm 炉管长度 1640mm 炉膛长度 1060mm 加热区长 200mm+200mm+200mm 恒温区长 200mm 工作温度 0～1100℃ 控温精度 ±1℃ 控温模式 30段或50段程序控温 显示模式 LCD 密封方式 304不锈钢真空法兰 法兰接口 1/4英寸卡套接头，KF16/25/40接头 可抽真空 4.4E-3Pa 供电电源 AC:220V 50/60Hz 倾斜角度 0~15° 转速 0~20转 供 气 系 统 产品型号 CY-3F 气体通道 3通道 测量部件 气体浮子流量计 测量量程 A通道：0～100ml/min H2气 备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。 B通道：16～160ml/min N2气 C通道：25～250ml/min Ar气 测量精度 ±2.0% 管道耐压 3MPa 工作压差 50～300KPa 连接管道 304不锈钢 控制阀门 304不锈钢针阀 接口规格 进气口和出气口为1/4英寸卡套接头 排 气 系 统 机械泵 旋片泵 抽气速率 1.1L/S 排气接口 KF16 真空测量 电阻规 极限真空 1.0E-1Pa 供电电源 AC:220V 50/60Hz 抽气接口 KF16
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